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精密位移-纳米精度位移系列

直线度误差:直线度是位移台在水平方向移动时于垂直水平轴线的左右方向的偏差。

平面度误差:平面度(垂直于直线度)是位移台在水平方向移动时于垂直于水平轴线上下方向的偏差。

Pitch:围绕X方向的角度误差

Roll:  围绕Y方向的角度误差

Yaw:  围绕Z方向的角度误差